Отчет по лабораторной работе №6 / Lab-6.doc
Лабораторная работа №6: «Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников»
Для проведения расчетов откройте папку «Лабораторные работы» на рабочем столе компьютера и дважды щелкните левой кнопкой мыши по ярлыку «Беск. метод», в результате чего в EXEL на экране видеомонитора появится следующая таблица.
| Лабораторная работа №6: |
|
|
| |||
Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников | |||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Группа: |
| Бригада: |
|
| Дата: |
|
|
Параметры эталона | №обр. | δ2, | 2, | Q2 | σ2, | ρ2, | |
Q0 |
|
| мкм | кГц |
| Ом-1*см-1 | Ом*см |
ρ1, Ом*см |
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
δ1, мкм |
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
1, кГц |
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
Q1 |
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
σ1, Ом-1*см-1 | #ДЕЛ/0! |
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
|
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
|
|
|
|
|
| #ДЕЛ/0! | #ДЕЛ/0! |
Для расчета неизвестного удельного сопротивления измеренных пластин кремния введите в ячейки B6 - B11 следующие параметры датчика и эталонной пластины.
Q0 - добротность датчика без пластины | Ячейка B6 |
ρ1 - удельное сопротивление эталона | Ячейка B7 |
δ1, толщина эталона | Ячейка B8 |
1, - резонансная частота датчика с эталоном | Ячейка B9 |
Q1 - добротность датчика с эталоном | Ячейка B10 |
После введения этих данных в ячейке B11 будет рассчитана проводимость эталона σ1.
Затем введите в ячейки D7, E7 и F7 следующие параметры датчика и измеряемой пластины с неизвестным удельным сопротивлением.
δ2 - толщина измеряемой пластины | Ячейка D7 |
2 - резонансная частота датчика с измеряемой пластиной | Ячейка E7 |
Q2 - добротность датчика с измеряемой пластиной | Ячейка F7 |
После введения этих данных в ячейках G7 и H7 будут рассчитаны проводимость неизвестной пластины σ2 и ее удельное сопротивление ρ2.
σ2 - проводимость измеряемой пластины | Ячейка G7 |
ρ2 - удельное сопротивление измеряемой пластины | Ячейка H7 |
Затем введите в ячейки D8, E8 и F8 соответствующие параметры датчика и следующей измеряемой пластины с неизвестным удельным сопротивлением.
После введения этих данных в ячейках G8 и H8 будут рассчитаны проводимость неизвестной пластины σ2 и ее удельное сопротивление ρ2.
И так далее.